無塵車間對純化水體系設備的特殊要求：純化水體系的設備主要有蒸餾水器、離子交換設備、反滲透設備、電滲析設備、EDI設備，當然還應包括原水的處理設備，以及衛生級水泵與普通給水泵、閥門和管道等；水處理流程中的微生物操控應貫穿進程的一直。

    純化水貯罐及配水管道要有定期進行微生物消毒的辦法，應該依據工藝用水純化水體系內部所選用的水處理設備的功能和特色，環繞操控和削減微生物的污染采取辦法；在純化水體系中還應當依據所選用的消毒辦法，恰當地挑選設備的制作資料，若選用熱處理辦法，則活性炭過濾器或軟化器的制作資料應具有耐熱性。

    若選用化學消毒辦法，則這杯的制作資料能夠不考慮耐熱問題，而主要考慮設備內腐蝕壽命問題，如選用玻璃鋼樹脂內襯聚乙烯；純化水體系設備還應具備無不流動的靜態水段的特性，悉數設備都應具有能夠將體系內部余水放空的才能，體系外部的水也不會倒流回體系而產生污染。